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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제21권 제11호
발행연도
2008.1
수록면
973 - 976 (4page)

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In addition to its similarity to genuine diamond film, diamond-like carbon (DLC) film has many advantages, including its wide band gap and variable refractive index. In this study, DLC films were prepared by the RF PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) method on silicon substrates using methane (CH₄) and hydrogen (H₂) gas. We examined the effects of the RF power on the electrical properties of the DLC films. The films were deposited at several RF powers ranging from 50 to 175 W in steps of 25 W. The leakage current of DLC films increased at higher deposition RF power. And the resistivities of DLC films grown at 50 W and 175 W were 5×1011 Ωcm and 2.68×1010 Ωcm, respectively.
#DLC #Diamond-like carbon) #PECVD #Plasma enhanced vapor deposition) #Electrical properties

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A. Grill / 1999 / Diamond-like carbon:state of the art / Diam. Relat. Mater 8 : 428 ~ google schola J. Robertson / 1996 / Amorphous carbon / Curr. Opin. Solid. St. M 1 : 557 ~ google schola J. Robertson / 1997 / Electronic structure of diamond- like carbon / Diam. Relat. Mater 6 : 212 ~ google schola K.E. Spear / 1994 / Synthetic Diamond: Emerging CVD Science and Technology / John Wiley & Sons google schola T. M?ri / 1984 / Crystal structure of diamondlike carbon films prepared by ionized deposition from methane gas / J. Appl. Phys 55 : 3276 ~ google schola

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