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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Mi-Ri Park (Gyeongsang National University)
저널정보
한양대학교 세라믹공정연구센터 Journal of Ceramic Processing Research Journal of Ceramic Processing Research 제18권 제6호
발행연도
2017.6
수록면
431 - 434 (4page)
DOI
http://dx.doi.org/

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In this study, Ce-doped PZT/BFO multilayer thin films were prepared by the spin-coating method on Pt(200 nm)/Ti(10 nm)/SiO2(100 nm)/P-Si(100) substrates using Bi0.9Ce0.1FeO3 and Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 metal alkoxide solutions. The coating and heatingprocedure was repeated several times to form multilayer thin films. All PZT/BCFO multilayer thin films display the typicalXRD pattern of a polycrystalline perovskite structure with a uniform, void-free grain microstructure. The thickness of the PZTand BCFO film after one cycle of drying/sintering was approximately 30 nm, and all films consist of fine grains with arelatively flat surface morphology. The relative dielectric constant and dielectric losses of the six-coated PZT/BCFO thin filmwere approximately 360 and 0.003%, respectively. As the number of coatings increased, the remanent polarization andcoercive field increased. The values for the six-coated PZT/BCFO thin film were 17.6 μC/cm2and 53 kV/cm, respectively

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