지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experiment
Ⅲ. Result and DiscusSiOn
Ⅳ. Conclusions
References
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Plasma Optical Signal Analysis for SiNx Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Correlation Analysis of Plasma Properties and Film Properties using Optical Emission Spectroscopy in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes of Silicon Nitride
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Correlation Study between Optical Emission Spectroscopy Signals and Silicon Nitride Film Properties in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Prediction of Silicon Nitride Film Properties by the Analysis of Optical Emission Spectroscopy Signals in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
VHF-PECVD for a-Si:H and a-SiN:H Film Deposition
Applied Science and Convergence Technology
2019 .09
낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Plasma nitridation of atomic layer deposition-Al2O3 by NH3 in PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F8/ O₂ 가스의 특성 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Spectroscopic Analysis of Effects of Additive Nitrogen on Atmospheric Pressure Ar/HMDS Plasma
Applied Science and Convergence Technology
2023 .09
Microwave Plasma Source Optimization for Thin Film Deposition Applications
Applied Science and Convergence Technology
2022 .03
Plasma impedance matching technique for bio plasma RF source
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Plasma deposition of functional nanocomposites
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Correlation Analysis of Plasma Optical Emission Spectra and Silicon Nitride Films Deposited in Inductively Coupled Plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Flexible Plasma Sheets
Applied Science and Convergence Technology
2018 .03
Layer-by-layer deposition of chemical-vapor-deposition-grown graphenes
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
마이크로스트립 라인을 이용한 마이크로웨이브 플라즈마 기술 및 응용
진공이야기
2020 .09
0