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이용수
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험 장치
3. 실험 결과 및 분석
4. 결론
감사의 글
참고문헌
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헬리콘 플라즈마의 전기적 특성
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헬리콘 플라즈마의 연구 현황
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2000 .02
헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택비 산화막 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
헬리콘 플라즈마에서 이온 에너지 분포 및 플라즈마 전위에 관한 연구
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1995 .06
반사계를 이용한 헬리콘 플라즈마 밀도측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
헬리콘 플라즈마의 모드변환 영역 근처에서 충돌에 의한 에너지 흡수에 관한 연구
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2009 .02
낮은 자기장하에서 헬리콘 플라즈마 밀도의 시간적 진동에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
Lower Hybrid 주파수 부근에서 헬리콘 플라즈마의 주파수 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
ICP와 헬리콘 플라즈마를 이용한 대면적 고밀도 플라즈마 소스 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
유도 결합 플라즈마에서 E - H 모드 전이 중 안테나 전류 감소와 히스테리시스 발생
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
헬리콘 플라즈마메서 이온 펌핑 효과의 영향에 대한 수치적 해석 연구
Applied Science and Convergence Technology
1999 .08
공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
가스 주입구의 위치가 헬리콘 플라즈마 특성 및 산화막 식각에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택비 산화막 식각에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1998 .11
4㎒ I - PVD장치에서 정합회로를 이용한 플라즈마 제어
Applied Science and Convergence Technology
1999 .02
평면형 유도결합 플라즈마 장치에서의 RF 전력 전달 특성 계산
Applied Science and Convergence Technology
1999 .08
C₄F8 / H₂ 헬리콘 플라즈마를 이용한 산화막 식각시 형성된 잔류막 손상층이 후속 실리사이드 형성 및 전기적 특성에 미치는 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
유도 결합 플라즈마에서의 안테나 권선 수에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
헬리콘 고밀도 플라즈마로부터 라디칼 빔의 추출 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
약한 외부자기장이 인가된 유도결합형 플라즈마에서 m=0와 m=1 wave mode를 갖는 plasma wave의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
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