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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제5권 제1호
발행연도
1996.3
수록면
85 - 92 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

1996

Lower Hybrid 주파수 부근에서 헬리콘 플라즈마의 주파수 특성
윤석민 ,  김정형 ,  장홍영 한국진공학회 학술발표회초록집 1996.06 학술대회자료
헬리콘 플라즈마의 전기적 특성
윤석민 ,  김정형 ,  서상훈 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 1996.03 학술저널
헬리콘 플라즈마의 전기적 특성
윤석민 ,  김정형 ,  서상훈 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1996.02 학술대회자료

초록· 키워드

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7MH의 RF 주파수를 이용하여, 1 mTorr의 Ar 가스에서 발생시킨 헬리콘 플라즈마의 전기적 특성에 대하여 연구하였다. 자기장과 입력 전력을 바꾸어 가며 안테나의 전압과 전류 및 이 두 변수들간의 위상 차이를 측정하였으며, 동시에 전자 밀도를 측정하여 비교하였다. 이러한 값들로부터 플라즈마와 결합된 안테나의 저항(equivalent resistance), 리액턴스( equivalent reactance) 및 전력 효율을 계산하였다. 고밀도의 플라즈마를 형성하는 헬리콘 모드와 capacitive electric field에 의해서 낮은 밀도의 플라즈마를 형성시키는 low-mode가 존재함을 확인하였다. 헬리콘 모드의 경우 안테나의 전압과 전류 값이 low-mode에 비해 낮았다. 전압과 전류의 위상 차이가 low-mode에서 헬리콘 모드로 변할 때 갑자기 감소하였다. 이 때 플라즈마와 결합된 안테나의 저항과 전력 효율은 증가하였으며 리액턴스는 감소하였다. 이것은 low-mode에서 헬리콘 모드로 변할 때 안테나와 플라즈마와의 결합은 좋아지고 플라즈마로 입력되는 전력은 증가함을 의미한다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 장치

3. 실험 결과 및 분석

4. 결론

감사의 글

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