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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제4권 제4호
발행연도
1995.12
수록면
413 - 416 (4page)

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고주파 마그네트론 스펏터링법을 이용하여 ZnO막을 제조하고 유리기판 위에 ZnO-SAW필터를 제작하였다. ZnO막의 제조 조건은 고주파 전력 150W, 기판용도 200℃, 분위기압 5 mTorr 및 O₂/(Ar+O₂)비 50%였다. 한편 IDT(Inter-digital transducer) 전극은 전극 폭을 2.56 ㎜, 전극 거리를 2.936 ㎜, λ/8 폭을 8 ㎛로 설계하였다. 제작된 ZnO-SAW필터의 주파수 응답을 측정하기 위해 소자는 mount(TO8)에 고정시켰다. ZnO SAW필터의 통과 대역 (3 dB대역폭)은 35.2~44.8 ㎒로 9.6 ㎒의 대역 폭을 나타내었으며 중심주 파수는 40 ㎒를 나타내었다. 또한 삽입 손실은 39 dB, 통과 대역에서의 리플(ripple)은 ±0.8 dB 및 rejection은 17 dB를 나타내었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 및 측정

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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