표면분석용 인증표준물질의 개발 Ⅱ : 깊이분포도용 다층 박막 표준물질의 개발

김경중; 문대원

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김경중 문대원

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제3(2)호

발행연도: 1999.8

수록면: 283 - 289 (7page)

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표면분석용 인증표준물질의 개발 Ⅱ : 깊이분포도용 다층 박막 표준물질의 개발

김경중 , 문대원 Applied Science and Convergence Technology 1999.08 학술저널

표면분석용 인증표준물질의 개발 Ⅰ : 표면조성분석용 합금박막 표준물질

김경중 , 박용섭 , 문대원 Applied Science and Convergence Technology 1999.08 학술저널

표면분석용 인증표준물질의 개발 Ⅱ : 깊이분포도용 다층 박막 표준물질의 개발

김경중 , 문대원 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.02 학술대회자료

표면분석용 인증표준물질의 개발 I : 표면조성분석용 합금박막 표준물질의 제작 및 응용

김경중 , 박용섭 , 문대원 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.02 학술대회자료

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깊이분포도 측정에 일반적으로 이용되는 다층박막 표준물질은 이온빔에 의한 스퍼터링 속도를 측정하여 에칭된 깊이를 검정하거나 깊이분해능 향상을 위한 최적의 분석 조건을 얻기 위하여 주로 이용된다. 한국표준과학연구원 표면분석그룹에서는 다목적 표면분석기가 연결된 이온빔 스퍼터증착 장비를 이용하여 다양한 형태의 다층 박막을 제작 공급하고 있다. 제작된 다층 박막 표준물질의 화학상태는 실시간 XPS 분석에 의해 인증되었고 그 두께는 투과전자현미경에 의해 인증되었다.

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소속기관 한국진공학회(ASCT)

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