The cross - over of the growth orientation in AlN(0002) / Si(001) films during off - axis RF sputter growth.

H. W. Jang ,  M. S. Yi ,  D. Y. Noh

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

PAMBE를 사용하여 성장된 AlN의 성장온도에 따른 AlN / Si의 구조적 특성 분석

홍성의 ,  한기평 ,  백문철 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

PAMBE를 사용하여 Si 기판 위에 성장된 AIN 박막의 결정성 분석

홍성의 ,  한기평 ,  백문철 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .04

산소 유량비 변화에 따른 AlN 박막의 구조, 표면 및 광학적 특성

조신호 ,  김문환

Applied Science and Convergence Technology

2010 .07

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의하여 증착한 AlN와 ZnO 박막의 성장기구에 관한 투과전자현미경 연구

최재형 ,  이정용

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Growth of AlN Thin Film on Sapphire Substrates and ZnO Templates by RF-magnetron Sputtering

Hyunseok Na

Applied Science and Convergence Technology

2010 .01

A study on the interface of AlN / Si

Yang Suk Roh ,  Shin Cheul Kim ,  Ui Sik Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Si(001)2×1 표면에 성장된 극초박막에 관한 연구

Hyun-Jeong Kim ,  Robe ,  t L. Johnson

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

MBE로 성장시킨 GaN / AlN / Si(111)구조의 특성 연구

김경현 ,  강석준 ,  이상현 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

The variation of lattice constants of AlN on Si (111) during the growth

M. S. Yi ,  S. H. Seo ,  D. Y. Noh

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Si (111) 기판 위에 다양한 AlN 완충층을 이용한 GaN 성장과 특성 비교

신희연 ,  이정욱 ,  정성훈 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Si (111) 기판 위에 다양한 AlN 완충층을 이용한 GaN 성장과 특성 비교

신희연 ,  이정욱 ,  정성훈 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2002 .04

In - situ x - ray scattering studies of AlN thin films on sapphire substrates by RF magnetron sputtering

S.H.Seo ,  M.S.Yi ,  H.C.Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Influence of surface energy on the microstructure evolution of AlN films synthesized by D.C magnetron sputtering

Y. M. Chung ,  M. J. Min ,  Y. M. Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

반응성 RF Magnetron Sputtering법으로 제조된 AlN박막의 증착 변수들이 굴절율에 미치는 영향

남창길 ,  최승우 ,  조동율 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Epitaxial growth of single crystalline AlN on Si(111) substrate using DC magnetron sputtering at room temperature

In-Su SHIN ,  Donghyun KIM ,  Donghyun LEE 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Tunneling magnetoresistance of AlN / Co / AlN type discontinuous films

C. J. Yang ,  M. Zhang ,  Z. D. Zhang 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .12

고주파 스퍼터링 방법으로 금속기판 위에 증착된 AlN박막의 질소가스 분압비에 따른 경도와 박막 표면의 배향성에 관한 연구

오지용 ,  이창현 ,  배강 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

AlN 박막을 이용한 표면탄성파 소자의 특성

주한용 ,  이재빈 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

SPUTTERING법에 의해 성장시킨 PZT박막의 표면 분석

김영관 ,  박주상 ,  추정우 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1996 .06