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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제4권 제2호
발행연도
1995.6
수록면
189 - 193 (5page)

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YBa₂Cu₃O_(7-y) 박막을 c축 방향으로 성장시키는데는 고압 스퍼터링 방법이 저압 스퍼터링 방법에 비해 효과적인 것으로 알려져 있다. 우리는 500 mtorr의 고압 스퍼터링 방법을 사용하여 YBa₂Cu₃O_(7-y) 박막을 α축 방향으로 성장시키는 연구를 수행하였다. 저압 스퍼터링 방법을 사용할 때보다 낮은 기판온도에서 α축 방향 성장이 이루어지며, 저압 스퍼터링 성장의 경우와는 달리 산소분압의 크기에 따라 성장 방향이 달라지지 않음을 발견하였다. 성장된 박막은 기대와 달리 매우 낮은 초전도 전이온도와 열등한 구조적 특성과 표면 특성을 보였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과와 고찰

4. 결론

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