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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제4권 제1호
발행연도
1995.3
수록면
40 - 45 (6page)

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직경 2 인치의 YBa₂Cu₃O_(7-y) 타켓을 사용하여 높은 스퍼터링 기체 압력 하에서 off-axis DC-마그네트론 스퍼터링 방법으로 MgO(100) 단결정 기판 위에 YBa₂Cu₃O_(7-y) 박막을 c축 방향으로 in-situ 성장시킬 때 기판의 접지 여부와 인가전류의 양이 박막 성장에 미치는 영향을 연구하였다. 그 결과 접지 여부는 박막의 초전도 변환온도, 전기수송 특성, 결정 구조적 특성에는 영향을 거의 주지 않는 반면 표면상태에는 상당한 영향을 미치며, 인가전류의 양은 초전도 특성에 많은 영향을 미침을 발견하였다. 기판온도 670℃, 스퍼터링 기체압력 300 mTorr, 아르곤 대 산소 분압비 5 : 1의 조건에서 인가전류의 최적량은 300~500 mA이었으며 평균 박막 성장속도는 0.11~0.14Å/s로 매우 낮았다. 기판의 접지 효과와 낮은 성장속도의 원인에 대해 고찰해 본다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 기판의 접지 효과

4. 인가전류 효과

5. 결론

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