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자료유형
학술저널
저자정보
김경현 (Department of Electrical Engineering, Hanyang University) 김관용 (Department of Electrical Engineering, Hanyang University) 이효창 (Department of Electrical Engineering, Hanyang University) 정진욱 (Department of Electrical Engineering, Hanyang University)
저널정보
한국전력공사 KEPCO Journal on electric power and energy KEPCO Journal on electric power and energy 제1권 제1호
발행연도
2015.1
수록면
135 - 140 (6page)

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유도 결합 플라즈마를 활용하여 $Ar/CO_2$ 혼합가스에서 이산화탄소를 분해하는 연구이다. 고밀도 플라즈마를 발생시키기 위해 Ar 가스를 첨가하였고 이산화탄소 분해율을 측정하기 위해 광학적 광량 측정법을 사용 하였다. 유도 결합 플라즈마를 방전시키고 인가 전력, 압력, 혼합가스 비율을 변경하가며 단일 랭뮤어 프로브를 이용해 플라즈마 변수를 얻고 방출 분광기로 얻은 빛의 스펙트럼을 이용하여 분해율을 측정하였다. 측정된 플라즈마 변수로부터 $CO_2$ 유도 결합 플라즈마의 소스 특성을 확인했고 $CO_2$ 분해 메커니즘은 플라즈마 변수에 직접적인 영향을 받기 때문에 그 상관관계를 분석하였다.
#Carbon dioxide #Plasma #Decomposition #Radio frequency #ICP

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