1주기 챔버 클리닝이 포함된 클러스터 장비에서 웨이퍼 지연 제어를 위한 Kanban 피드백 제어 연구

김재현 ,  이태억

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2020 .11

1주기 챔버 클리닝이 포함된 양팔 클러스터 장비에서의 피드백 제어기 설계 및 웨이퍼 지연 제어 효과 분석

김재현 ,  이태억

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2021 .11

센서 기반 클리닝을 실시하는 클러스터 장비에 대한 피드백 기반 웨이퍼 지연 제어

서정헌 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2021 .06

양팔 클러스터 장비의 K-주기 운용 시 웨이퍼 지연 분석 및 제어

노동현 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2016 .04

1주기 챔버클리닝을 실시하는 양팔 클러스터 장비 운용을 위한 K-웨이퍼 주기 시퀀스

주상현 ,  김현정

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2024 .10

웨이퍼 지연을 고려한 반도체 제조용 양 팔 클러스터 장비의 강화학습 기반 스케줄링

홍철희

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2018 .04

클러스터 장비 내 웨이퍼 품질 향상을 위한 스케줄링: 웨이퍼 지연 및 흐름시간 제어

김민찬 ,  유태선

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

백팩타입 레이저 클리닝 장비를 활용한 강재 표면의 레이저 클리닝 시 공정변수별 클리닝 특성 비교

김지언 ,  송무근 ,  현정훈 외 2명

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2021 .05

챔버클리닝을 실시하는 한팔 클러스터 장비 운용을 위한 backward operation 배치 전략

주상현 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

강화학습을 이용한 웨이퍼의 품질과 다품종 생산을 고려하는 반도체 제조 장비 스케줄링

김민찬

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2021 .11

챔버 내 웨이퍼 지연을 고려한 다중 슬롯 클러스터 장비의 구조 설계 및 스케줄링

지영준 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2019 .04

반도체 제조용 클러스터 장비의 데드락 방지 알고리즘

홍철희 ,  이태억

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2019 .11

회귀분석을 이용한 반도체 웨이퍼 기울기 조절의 영향 인자 도출 및 개선

길준혁 ,  이나영 ,  신윤경 외 1명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2023 .05

딥러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 불량 유형 구분 모델에 관한 연구

백선재 ,  이민혁

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .02

시뮬레이션 방식을 이용한 리드 타임 개선 사례 연구

노원주 ,  심재훈

산업경영시스템학회지

2021 .01

반도체 제조 공정에서 graph attention networks를 이용한 웨이퍼 edge point 가상 계측 모델

양근우 ,  김창욱

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2021 .11

레이저를 이용한 용접부 표면 산화층 제거 시 공정변수에 따른 특성 비교

김지언 ,  김평수 ,  최한섭 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

에폭시 도장면의 레이저 클리닝 시 공정 변수에 따른 제거 효율에 관한 연구(II) - 에너지 밀도에 따른 영향 -

김종도 ,  김지언 ,  송무근 외 2명

대한기계학회 논문집 A권

2020 .03

관측치 간 공간적 유사성과 변수의 상관관계를 고려한 반도체 웨이퍼 테스트 데이터의 결측치 대체 방법 개발

김주영 ,  김광재

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2022 .11