1주기 챔버클리닝을 실시하는 양팔 클러스터 장비 운용을 위한 K-웨이퍼 주기 시퀀스

주상현 ,  김현정

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2024 .10

1주기 챔버 클리닝이 포함된 클러스터 장비에서 웨이퍼 지연 제어를 위한 Kanban 피드백 제어 연구

김재현 ,  이태억

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2020 .11

클리닝이 포함된 반도체 제조용 양팔 클러스터 장비에서의 웨이퍼 지연 감소를 위한 Kanban 피드백 제어 Case Study

김재현 ,  이태억

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2019 .11

센서 기반 클리닝을 실시하는 클러스터 장비에 대한 피드백 기반 웨이퍼 지연 제어

서정헌 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2021 .06

양팔 클러스터 장비의 K-주기 운용 시 웨이퍼 지연 분석 및 제어

노동현 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2016 .04

챔버 내 웨이퍼 지연을 고려한 다중 슬롯 클러스터 장비의 구조 설계 및 스케줄링

지영준 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2019 .04

챔버클리닝을 실시하는 한팔 클러스터 장비 운용을 위한 backward operation 배치 전략

주상현 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

클러스터 장비 내 웨이퍼 품질 향상을 위한 스케줄링: 웨이퍼 지연 및 흐름시간 제어

김민찬 ,  유태선

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

웨이퍼 지연을 고려한 반도체 제조용 양 팔 클러스터 장비의 강화학습 기반 스케줄링

홍철희

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2018 .04

백팩타입 레이저 클리닝 장비를 활용한 강재 표면의 레이저 클리닝 시 공정변수별 클리닝 특성 비교

김지언 ,  송무근 ,  현정훈 외 2명

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2021 .05

레이저를 이용한 용접부 표면 산화층 제거 시 공정변수에 따른 특성 비교

김지언 ,  김평수 ,  최한섭 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

에폭시 도장면의 레이저 클리닝 시 공정 변수에 따른 제거 효율에 관한 연구(II) - 에너지 밀도에 따른 영향 -

김종도 ,  김지언 ,  송무근 외 2명

대한기계학회 논문집 A권

2020 .03

Modeling Transient period of cluster tool with the minimum number of wafers

김우진 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2015 .04

자가 지도학습을 이용하여 데이터 불균형을 고려한 웨이퍼 빈 맵 불량 패턴 클러스터링 방법 연구

최이수 ,  김병훈

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

웨이퍼 클리닝 및 표면검사 자동화 장비 개발

강진수 ,  이창용 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2022 .06

휴대용 레이저 클리닝 장비를 이용한 서로 다른 조선용 방청도료의 클리닝 성능 향상을 위한 실험적 연구

김지언 ,  송무근 ,  이종명 외 3명

대한용접·접합학회지

2021 .10

레이저클리닝 기술을 이용한 녹 제거 및 마찰마모 특성연구

유현종 ,  김정오 ,  박창규

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2022 .05

웨이퍼 맵의 정량적 분류 체계 개발

최승현 ,  김은수 ,  이동희 외 1명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2019 .11

진공흡착 로봇시스템을 이용한 웨이퍼 클리닝 자동화 장비 개발

권소영 ,  김영형 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2022 .12