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학술저널
저자정보
Tengfei Xiao (Sun Yat-sen University) Xiao-Dong Li (Sun Yat-sen University) Qing-Yuan Xu (Guangdong Polytechnic Normal University)
저널정보
대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.20 No.1
발행연도
2020.2
수록면
84 - 92 (9page)
DOI
10.5573/JSTS.2020.20.1.084

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For the temperature regulation in a rapid thermal processing system in semiconductor manufacturing, we develop an adaptive iterative learning controller based on the finite-element-method in this paper. A finite-dimensional model of the system is constructed by the finite-element-method firstly. Then, adaptive iterative learning controller is designed based on the finite-dimensional model. Simulations are performed by heating the wafer in the system with the developed control method. Simulation results show the effectiveness of the proposed adaptive iterative learning controller.

목차

Abstract
I. INTRODUCTION
II. MODEL FORMULATION
III. FINITE-DIMENSIONAL MODEL
IV. ADAPTIVE LEARNING CONTROL METHOD
V. SIMULATION
VI. CONCLUSION
REFERENCES

참고문헌 (14)

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