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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.11
- 수록면
- 2,139 - 2,143 (5page)
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In measurements of the optical thickness variation of transparent plates, wavelength-tuning interferometry is widely used because of its high accuracy. However, when wavelength-tuning interferometry is employed, nonlinearity of phase shift can cause the spatially nonuniform and uniform error. Although the spatially uniform error can cause critical errors in the measurement of the absolute optical thickness, the conventional phase-shifting algorithms have not focused on the spatially uniform error. In this study, we propose a new 15-sample phase-shifting algorithm that can suppress the spatially uniform error. The conditions for suppressing the spatially uniform error are derived by the Taylor series, and the sampling window of the new algorithm is assumed by a condition. The characteristics of the 15-sample phaseshifting algorithm are discussed by the Fourier representation in a frequency domain. The error derived from the new 15-sample phase-shifting algorithm is evaluated by the root mean square error and calculated phase errors.
목차
Abstract
1. 서론
2. 15-샘플 위상 시프팅 알고리즘 개발
3. 15-샘플 위상 시프팅 알고리즘의 특징
4. 결론
참고문헌
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