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Design of Gaussian Phase-shifting Algorithm for Surface Profile Measurement of a Silicon Wafer
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
광학적 표면 형상과 두께 측정을 위한 유연 위상 추출 알고리즘 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
고조파 위상 반복 분석법과 파장 주사 간섭법을 이용한 실리콘 웨이퍼의 표면형상 측정
대한기계학회 논문집 A권
2022 .06
반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론
대한산업공학회지
2015 .06
파장 주사 간섭법을 이용한 투명 평판의 초정밀 표면 형상 측정
대한기계학회 논문집 A권
2023 .04
3D Surface and Thickness Profile Measurements of Si Wafers by Using 6 DOF Stitching NIR Low Coherence Scanning Interferometry
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .02
Thickness Measurement of Blank Mask Using Wavelength-tuning Interferometry and Phase-iterative Method
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
공간 균일 오차 최소화가 가능한 위상 시프팅 알고리즘을 통한 광학 두께 변동량 측정
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
광학적 두께 측정을 위한 공간적으로 균일한 오차 제거가 가능한 위상 시프팅 알고리즘 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
파장 주사 Fizeau 간섭계와 Gaussian 창함수를 이용한 실리콘 웨이퍼의 표면 형상 측정
대한기계학회 논문집 A권
2024 .07
Fourier Filter를 이용한 비전 기반 반도체 Wafer 결함 검출
한국통신학회 학술대회논문집
2020 .11
영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
자중 변형을 보상한 300 mm 실리콘 웨이퍼의 형상 및 두께 분포 동시측정기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
투명 평판 두께의 간섭 측정을 위한 굴절률 분산을 억제하는 위상 검출 알고리즘
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .12
Vibration-suppression Characteristics of Phase-shifting Algorithms Used in Interferometric Surface Measurement
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
펨토초 레이저의 표면상 삼차조화파를 활용한 실리콘 웨이퍼의 측정 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구
한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집
2015 .01
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