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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2023.4
- 수록면
- 331 - 336 (6page)
- DOI
- 10.3795/KSME-A.2023.47.4.331
이용수
초록· 키워드
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파장 주사 간섭법을 사용하여 투명 평판의 표면 형상 및 두께를 측정할 때, 레이저의 안정성, 간섭계의 불안정성 및 환경적인 불확실성으로 인해 많은 종류의 오차가 발생한다. 본 연구에서는 이와 같은 오차를 효과적으로 보정하는 15 샘플 위상 추출 알고리즘을 개발하였다. 위상 추출 알고리즘을 설계하는 여러 방법 중에서 선형 방정식 이론을 이용하여 설계하였으며, 알고리즘을 Fourier 변환과 특성다항식 이론을 사용하여 각각 주파수 공간과 복소 평면에서 시각화하였다. 또한, 알고리즘의 위상 시프트 선형 오차 및 비선형 오차의 억제 능력을 수치 해석으로 검증하였다. 마지막으로 투명 평판의 표면 형상을 파장 주사 Fizeau 간섭계 및 새롭게 개발한 15 샘플 위상 추출 알고리즘을 이용하여 측정하였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 15 샘플 위상 추출 알고리즘
3. 오차 억제 성능
4. Fizeau 간섭계를 이용한 검증 실험
5. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
Hariharan, P., Oreb, B. F. and Eiju, T., 1987, “Digital Phase-Shifting Interferometry: A Simple Error-Compensating Phase Calculation Algorithm,” Appl. Opt., Vol. 26, No. 13, pp. 2504~2506.
Hibino, K., Oreb, B. F. and Farrant, D. I., 1995, “Phase Shifting for Nonsinusoidal Wavefront with Phase-Shift Errors,” J. Opt. Soc. Am. A, Vol. 12, No. 4, pp. 761~768.
Hibino, K., Oreb, B. F., Farrant, D. I. and Larkin, K. G., 1997, “Phase-Shifting Algorithm for Nonlinear and Spatially Nonuniform Phase Shifts,” J. Opt. Soc. Am. A, Vol. 14, No. 4, pp. 918~930.
Surrel, Y., 1996, “Design of Algorithm for Phase Measurement by the Use of Phase Stepping,” Appl. Opt., Vol. 35, No. 1, pp. 51~60.
de Groot, P., 2014, “Correlated Errors in Phase-Shifting Laser Fizeau Interferometry,” Appl. Opt., Vol. 53, No. 19, pp. 4334~4342.
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