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R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향
한국표면공학회지
2022 .12
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향
한국표면공학회지
2025 .02
Bandgap Control of Sn1-xMgxO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method
AFORE
2023 .11
Thermal ALD로 증착된 몰리브덴 박막의 증착 특성
대한전자공학회 학술대회
2022 .06
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
박막공정 최적화를 위한 ALD Chamber 내부 열유동 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
ALD 공정에서의 플라즈마 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
분말 코팅을 위한 원자층 증착법
한국분말야금학회지
2019 .01
홈메이드 ALD(atomic layer deposition)의 제작과 알루미늄 옥사이드의 제작
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
배치 ALD 반응기 내 운반기체 분사에 따른 증착 산포 경향성에 관한 수치해석 연구
한국전산유체공학회지
2023 .09
PIV를 이용한 반도체 증착용 멀티홀 노즐에서의 유량 분배 측정
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2020 .11
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
지속가능한 반도체 ALD 공정챔버의 가스유동장 수치해석
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2023 .06
반도체 ALD 공정챔버의 마이크로 공정갭 가스유동장 설계
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2024 .06
Study on the Nanoscale Behavior of ALD Pt Nanoparticles at Elevated Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2016 .08
유한요소 해석을 이용한 박막 고속 증착용 ALD장비 최적설계
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .04
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
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