메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제33권 제4호
발행연도
2020.1
수록면
255 - 262 (8page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
다결정 실리콘으로 구성된 광 검출기에서 소자의 성능은 결정립계(grain boundary)의 전도 특성에 의존하게 된다. 본 연구에서는 제조된 다결정 실리콘의 후속 공정에 따른 금속-다결정 실리콘-금속(MSM) 소자의 전기적 특성을 비교하여 결정립계의 영향을 조사하였다. 실험 결과를 통해 보완된 결정립계 모형인 Si 결정립/계면/SiOx 비정질/계면/Si 결정립 구조를 제안하였다. 이는 MOS 소자의 SiO2-Si 시스템과 유사하다. 두 계면은 수소 이온 주입공정을 통해 수소로 부동태화할 수 있었다. 결정립계에 존재하는 SiOx 비정질 박막은 MSM 광 검출기에서 암전류를 감소시키고, 광전류를 증가시키는 역할을 하게 되어 광응답 특성을 개선시키는 효과를 가져왔다.

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (19)

참고문헌 신청

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0