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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
주정훈 (군산대학교 공과대학 재료공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집
발행연도
2003.1
수록면
26 - 30 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

내장형 유도 결합 플라즈마를 사용한 박막 증착 장치의 개발
주정훈 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

2003

고밀도 유도 결합 플라즈마를 이용한 박막 증착 장치 개발
주정훈 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2003.01 학술대회자료

초록· 키워드

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안테나 내장형 유도결합 플라즈마를 마그네트론 스퍼터링 장치에 추가하고 플라즈마의 생성 조건을 제어함으로써 고품질의 박막을 증착할 수 있는 장치의 개발 연구를 수행하였다. 정확한 장치의 성능을 평가하고 앞으로의 개선점을 찾기 위하여 Langmuir probe, OES, RF impedance probe, QMS 등의 플라즈마 진단 도구들을 사용하여 기본 동작 특성 및 공정중 플라즈마의 전자 온도, 밀도, 방출 파장 분석을 통한 입자 상태 분석, 부하 임피던스와 시스템 임피던스 분석을 통한 파워 전달 특성을 평가하고 이에 따라서 장치의 구성 및 동작 조건을 변경 개선하였다. 실험 대상 박막계는 기본 물성 측정을 위한 Al, Ag, TiN, MgO, Si, $SiO_2$, 등이며 타겟의 크기는 2인치 직경의 원형, 12인치 원형, 5인치 * 25인치 사각형 3가지 이다.

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