저온 성장된 ZnO 나노막대의 온도 의존성

김동찬 ,  공보현 ,  조형균 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조한 투명 전극용 ZnO 박막 증착에 관한 연구

김진용 ,  이용의 ,  조해석 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Off-axis rf 마그네트론 스퍼터링에 의한 이종에피텍셜 ZnO 박막의 성장 및 광학적 특성

박재완 ,  박유미 ,  박종완 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 ZnO 박막의 배향성에 관한 TEM연구

김정태 ,  이정용

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO : AI투명도전막의 제조 및 특성 ( Fabrication of ZnO : Al Transparent Conductive Film by RF Magnetron Sputtering and Its Properties )

이형기 ,  마대영 ,  박기철

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과

李進馥 ,  李惠靜 ,  徐洙瑩 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .12

MOCVD로 성장한 ZnO 나노막대의 저온 성장과 특성평가

김동찬 ,  공보현 ,  조형균 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

태양전지용 ZnO:Al 투명 전도막 제작

탁성주 ,  강민구 ,  김동환

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2005 .11

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

스퍼터링 방법으로 성장시킨 ZnO 박막의 결정질 향상을 위한 고온성장

김영이 ,  안철현 ,  강시우 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

ZnO 나노막대 어레이의 성장과 전기적 특성

박재영 ,  윤영수 ,  김주진 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 방향성을 지닌 $SrTiO_3$ 박막의 제조

남승희 ,  이원재 ,  김호기

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 FBAR 소자용 ZnO 박막의 특성

김선영 ,  이능헌 ,  김수길 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

수열합성법을 이용한 합성 중 용액 교체를 통하여 high aspect ratio를 가지는 ZnO 나노막대의 합성

배영숙 ,  조형균

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

Optical properties of the Al:ZnO transparent conducting oxide films prepared by DC/RF Magnetron Sputtering Method

이붕주 ,  신백균 ,  남광우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Al:ZnO 투명전도성 산화막의 광학적 특성

이붕주 ,  신백균 ,  남광우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

DEFENDENCE OF PROPERTIES OF THE AL-DOPED ZNO THIN FILMS DEPOSITED BY RF MAGNTRON SPUTTER ON SPUTTERING TARGET DENSITY

Kim ,  Jin-Yong ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

RF 마그네트론 스퍼터링으로 Si(111) 기판위에 증착한 ZnO 박막의 특성향상을 위한 buffer 층의 도입에 따른 영향

박태은 ,  조형균 ,  김영이 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

수소화된 ZnO:Al 박막 특성연구

탁성주 ,  이승훈 ,  김원목 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2007 .06

PLD와 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 SAW 필터용 ZnO 박막의 특성 연구

이승환 ,  유윤식

전기전자재료학회논문지

2012 .01