마그네트론 스퍼터 증착법으로 증착한 ZnO계 투명전극의 특성과 응용

윤선진 ,  김준관 ,  임정욱

인포메이션 디스플레이

2010 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 방향성을 지닌 $SrTiO_3$ 박막의 제조

남승희 ,  이원재 ,  김호기

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

RF마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO : AI투명도전막의 제조 및 특성 ( Fabrication of ZnO : Al Transparent Conductive Film by RF Magnetron Sputtering and Its Properties )

이형기 ,  마대영 ,  박기철

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과

李進馥 ,  李惠靜 ,  徐洙瑩 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .12

H₂/Ar분위기에서 제조한 투명전극용 ZnO:Al 박막의 특성

탁성주 ,  이정섭 ,  김원목 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2006 .06

RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용한 ZnO:P 나노막대 성장

김영이 ,  조형균

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

고주파 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO박막의 증착변수와 열처리온도에 따른 c축 배향성 연구

李鍾德 ,  高相春 ,  宋埈泰

전기학회논문지

1996 .06

고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성과 박막 특성에 미치는 영향

곽상현 ,  이재빈 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF 마그네트론 스퍼터로 제조한 투명전극용 AZO 박막의 특성

허재성 ,  손창식 ,  김동환 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2005 .01

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 초박형 Al 박막의 투명전극 적용성 연구

최두호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

DEFENDENCE OF PROPERTIES OF THE AL-DOPED ZNO THIN FILMS DEPOSITED BY RF MAGNTRON SPUTTER ON SPUTTERING TARGET DENSITY

Kim ,  Jin-Yong ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

RF 마그네트론 스퍼터링으로 Si(111) 기판위에 증착한 ZnO 박막의 특성향상을 위한 buffer 층의 도입에 따른 영향

박태은 ,  조형균 ,  김영이 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

투명전극용 박막의 제작과 전기적인 특성에 대한 연구

오데레사

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Li₂O-B₂O₃-SiO₂계 비정질 박막고체전해질의 증착변수에 따른 이온전도특성에 관한 연구

노남석 ,  권혁상

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1993 .11

RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 ZnO 박막의 배향성에 관한 TEM연구

김정태 ,  이정용

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF/DC 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ZIO 박막의 특성

박지봉 ,  박세훈 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가

조상현 ,  이재근 ,  이성호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

인라인 스퍼터링법에 의한 ZnO:Al 박막 증착 및 습식 식각에 따른 표면 형상 제어

김영진 ,  조준식 ,  박상현 외 4명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2009 .06

Off-axis rf 마그네트론 스퍼터링에 의한 이종에피텍셜 ZnO 박막의 성장 및 광학적 특성

박재완 ,  박유미 ,  박종완 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01