Effect of $O_2$ or $NF_3$ plasma treatments on contaminated silicon surface due to $CHF_{3}/C_{2}F_{6}$ reactive ion etching

박형호 ,  권광호 ,  곽병화 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Plasma and Reactive Ion Etching

전영진

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

Reactive Ion Etching 된 단일층 그래핀의 표면특성 분석

손영준 ,  전경용 ,  한창수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

Engineering of Bi-/Mono-layer Graphene Film Using Reactive Ion Etching

M. I ,  annejad ,  W. Alyalak 외 6명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

Cylindrical Magnetron을 사용한 실리콘의 반응성 이온 건식식각의 특성에 관한 연구

염근영

한국재료학회지

1993 .01

직접광소자 제작을 위한 고선택비를 갖는 실리카 박막의 reactive ion etching ( The reactive ion etching of silica film with high selectivity for integrated optical device production )

윤의식 ,  고한준 ,  신기철 외 2명

한국통신학회 기타 간행물

1997 .01

집적광소자 제작을 위한 고선택비를 갖는 실리카 박막의 reactive ion etching ( The Reactive ion Etching of Silica film with High Selectivity for Integrated Optical Device Production )

윤의식 ,  고한준 ,  신기철 외 2명

대한전자공학회 기타 간행물

1997 .01

Dry Etching characteristics of GaN Using Reactive Ion Beam

J. W. Lee ,  H. S. Kim ,  Y. J. Pa 외 2명

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

Neural Networks을 이용한 Reactive Ion Etching 공정의 실시간 오류 검출에 관한 연구

유경한 ,  이송재 ,  소대화 외 1명

한국정보통신학회논문지

2005 .11

플라즈마 화학증착한 aluminum oxide의 reactive ion etching 특성

김형석 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

RF 에칭 시스템에서 이온의 몬테카를로 시뮬레이션

반용찬 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

RIE(Reactive Ion Etching) 처리된 다결정 웨이퍼의 DRE(Damage Removal Etching) 처리에 따른 패시베이션 특성 분석

김무중 ,  박성은 ,  강민구 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

A Study on Modified Silicon Surface after CHF3/C2F6 Reactive Ion Etching

Hyung-Ho Pa ,  k ,  Kwang-Ho Kwon 외 7명

[ETRI] ETRI Journal

1994 .02

Characterization of Via Etching in CHF₃/CF₄ Magnetically Enhanced Reactive Ion Etching Using Neural Networks

Sung Ku Kwon ,  Kwang Ho Kwon ,  Byung Whan Kim 외 6명

[ETRI] ETRI Journal

2002 .06

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

Support Vector Machine을 이용한 Reactive Ion Etching의 Run-to-Run 오류검출 및 분석

박영국 ,  홍상진 ,  한승수

한국정보통신학회논문지

2006 .05

MEMS 적용을 위한 Thermal CVD 방법에 의해 증착한 SiC막의 반응성 이온 Etching 특성 평가

최기용 ,  최덕균 ,  박지연 외 1명

전기전자재료학회논문지

2004 .01