G-선 웨이퍼 스테퍼를 이용한 레지스트 공정 연구 ( Positive Resist Processing Using a G-line Wafer Stepper )

이재신 ,  박종문 ,  최창억 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

A Study on Nanostructure Fabricated by Stepper Process

E. J. Yeo ,  C. Pa ,  k 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

두꺼운 감광막의 노광 파장에 따른 측면 기울기에 관한 연구

한창호 ,  김학 ,  전국진

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

스테퍼와의 혼합 묘화를 위한 전자 빔 직접 묘화 기술에 관한 연구 ( A Study of the Electron-beam Direct Writing Technique for Mix-and-Match with Stepper )

이상보 ,  유상기 ,  김여환 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .05

리소그라피 모의실험을 위한 전자빔용 감광막의 현상 변수 측정과 프로파일 분석 ( Development parameter measurement and profile analysis of electron beam resist for lithography simulation )

함영목 ,  이창범 ,  서태원 외 2명

전자공학회논문지-A

1996 .07

Adaptive Lyapunov-based Control in Microstepping for Permanent Magnet Stepper Motors

Donghoo Shin ,  Wonhee Kim ,  Dong gyu Gang 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2010 .05

얇은 보 형상을 이용한 형상기억합금의 특성 평가

윤성호 ,  S ,  idha 외 3명

한국추진공학회 학술대회논문집

2001 .04

O2+CF4 저압플라즈마를 이용한 감광막 식각특성 연구 ( A Study on the Resist Etching Characteristics in the Low Pressure O2+CF4 Plasma )

최영규 ,  강진영 ,  마동성

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

여기에 주목! 광학설계 - 스테퍼 렌즈 타입의 변천

오무라 야스히로

광학세계

2016 .01

Linear stepper 형 surface motor의 구동 특성 예측과 과도특성 개선에 관한 연구

최진욱 ,  양선호 ,  박철우

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1998 .10

스테퍼 모터를 위한 비선형 제어기법의 개관

김원희 ,  신동훈 ,  이영우 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

2014 .03

형상인발공정 기술동향

이상곤 ,  이인규 ,  김병민

소성·가공

2016 .02

삼층감광막구조를 이용한 미세패턴의 전자빔 묘화 ( Submicron Patterning in Electron Beam Lithography using Trilayer Resist )

배용철 ,  서태원 ,  전국진

전자공학회논문지-A

1994 .10

정점간 거리 기반 3차원 형상 기술자의 특성 분석

이재호 ,  박준영

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2008 .05

[特輯]형상관리와 개발 환경

우치수

정보과학회지

1989 .08

둥근형상가공의 형상모델링과 예측에 관한 연구

윤문철 ,  김성근 ,  조현덕 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2000 .04

Evaluation of Lithographic Performance of X-Ray Stepper XS-1

T. Taguchi ,  S. Mitsui ,  Y. Tanaka 외 14명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Optical Stepper 의 이중노광에 의한 미세한 포토레지스트 패턴의 형성 ( Very Fine Photoresist Pattern Formation using Double Exposure of Optical Wafer Stepper )

양전욱 ,  김봉렬 ,  박철순 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .07

Nonlinear Observer for Permanent Magnet Stepper Motor

Wonhee Kim ,  Induk Choi ,  Chung Choo Chung 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2009 .09

구조물 건전성 모니터링을 위한 전산기반 시간-반전 과정

이우식 ,  장인준 ,  전용주 외 1명

한국철도학회 학술발표대회논문집

2010 .10