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학술대회자료
저자정보
이재석 (한양대학교 금속공학과) 박준식 (전자부품종합기술연구소) 박효덕 (전자부품종합기술연구소) 신상모 (전자부품종합기술연구소) 박종완 (한양대학교 금속공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1996년도 재료학회 춘계학술발표회
발행연도
1996.1
수록면
53 - 53 (1page)

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1997

Micro Gas Sensor의 Membrane용 ${SiN}_{x}$막과 ${SiN}_{x}/\textrm{SiO}_{x}/{SiN}_{x}$막의 응력과 굴절율
이재석 ,  신성모 ,  박종완 한국재료학회지 1997.01 학술저널

1996

증착 조건이 $(AI, SI)_{1-x}O_x$박막과 Pt 박막의 물성 및 응력 변화에 미치는 영향
이재석 ,  박종완 한국재료학회지 1996.01 학술저널
Micro Gas Sensor의 Membrane용 $SiN_x$막과 $SiN_x/SiO_x/SiN_x$막의 응력과 굴절율
이재석 ,  박준식 ,  박효덕 외 2명 한국재료학회 학술발표대회 1996.01 학술대회자료
증착조건이 (Al, Sr)$_{1-x}O_x$ 박막과 Pt박막의 물성 및 응력변화에 미치는 영향
이재석 ,  박준식 ,  박효덕 외 2명 한국재료학회 학술발표대회 1996.01 학술대회자료

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