Micro Gas Sensor의 Membrane용 ${SiN}_{x}$막과 ${SiN}_{x}/\textrm{SiO}_{x}/{SiN}_{x}$막의 응력과 굴절율

이재석 ,  신성모 ,  박종완

한국재료학회지

1997 .01

Laser CVD SiN막에 의한 SiN-Si계 TFD 특성의 DLTS에 의한 해석

홍성훈 ,  양지운 ,  조태훈 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

a-Si:H/a-SiN:H 초격자구조의 제작 및 특성 ( Fabrication of a-Si:H/a-SiN:H Superlattices and Its Properties )

박상준 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1992 .06

폴리우레탄 - 에폭시 SIN 의 반응속도와 물성에 관한 연구

김병선 ,  김성철

폴리머

1990 .02

열처리 방법에 따른 SiO-SiN SOI 기판쌍의 접합강도변화

이상현 ,  송오성

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

SiN 박막을 이용한 Si Nanodot의 형성

이장우 ,  박익현 ,  신별 외 1명

공업화학

2005 .01

In-situ SiN 박막을 이용하여 성장한 GaN 박막의 특성 연구

김덕규 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2005 .01

In-situ SiN 박막을 이용하여 성장한 GaN 박막 및LED 소자 특성 연구

김덕규 ,  박춘배 ,  유인성

전기전자재료학회논문지

2005 .01

a-Si : H / a-SiN : H 초격자 구조를 이용한 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of Thin Film Transistors with a-Si : H / a-SiN : H Superlattices )

박상준 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

Laser assisted PECVD SiN막의 전기적 특성

김용우 ,  김천섭 ,  이동희 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .07

Laser CVD SiN막에 대한 원료가스와 형성 후처리효과

양지운 ,  홍성훈 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

Series and Parallel Sin+Cos PSS

이상성

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

HD-PECVD법으로 제작한 SiN 박막의 특성

임영택 ,  신백균 ,  박구범 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

PECVD ammonia-free SiN 막의 계면상태

오재하 ,  박영우 ,  성영권

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

PECVD Ammonia-free SiN막의 계면 상태 ( Interface State Density of PECVD Ammonia-free SiN )

오재하 ,  박영우 ,  성영권

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

a-Si:H/a-SiN:H 超格子 構造를 이용한 박막트랜지스터의 製造

박상준 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

$Pt/Ti/SiN_x$층의 미세구조변화에 미치는 어닐링분위기의 영향

김동찬 ,  이태곤 ,  김영호

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

765㎸ 신가평, 신태백 변전소 예방진단시스템

권동진 ,  심응보 ,  정길조 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

폴리우레탄-에폭시 IPNs의 강인성

김종석 ,  홍석표

공업화학

1998 .01

a-Si : H/a-SiN : H 구조 MODFET의 조성 및 그 특성 ( Fabrication of MODFET with a-Si : H/a-SiN : H Structure and Its Characteristics )

강석진 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1993 .06