지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)방법에 의한 a-C:H 박막의 열처리에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착
한국표면공학회지
2002 .04
PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착
한국정보통신학회논문지
2007 .11
Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )
전자공학회논문지-A
1992 .08
RF-PECVD법에 의한 Ti-Si-N 박막의 증착거동
한국표면공학회지
2002 .08
PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )
전자공학회논문지
1990 .06
PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )
전자공학회논문지
1990 .07
Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
ICP-PECVD를 이용한 저온 ARC 박막 증착 공정
한국에너지학회 학술발표회
2013 .05
가스 유량과 RF Power에 따라 PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
PECVD법의 의한 나노결정체 다이야몬드 박막의 증착
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
Fe3O4 박막의 증착 속도에 따른 광학적 특성 변화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
PECVD 방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조 분석
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향
한국재료학회지
1994 .01
RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
플라즈마 진단에 의한 PECVD SiO₂ 증착의 불균일성 원인 연구
전기전자재료학회논문지
2011 .01
PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 특성연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
PECVD법으로 증착한 다이아몬드성 카본 박막의 열처리에 따른 구조변화에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
0