A Novel Method of Solid Phase Crystallization of LPCVD Amorphous Si Films by Nucleation Interface Control

Eui Hoon Hwang ,  Se Jin Chung ,  Jae Sang Ro

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Selective Crystallization of LPCVD a-Si Films using SiO2 Mask by Metal Adsorption Method

손동균 ,  최용우 ,  안병태

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

증착속도에 따른 LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화거동

최용우 ,  손동균 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Study on removing the defects in LPCVD poly-Si films by two-stage deposition method

Kim Gyong Nam

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1995 .08

핵생성 계면 제어에 의한 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화 거동

황의훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

마이크로파를 이용한 LPCVD a-Si의 저온 결정화 및 TFT에 관한 연구

최용우 ,  이정노 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

LPCVD System

이중환

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구

洪贊熹 ,  朴昌燁

전기학회논문지

1991 .07

$Si_{2}H-{6}$ 과 $GeH_4$가스를 이용한 LPCVD $a-Si_{1-x}Ge_{x}$ 박막증착과 고상결정화 거동

김진원 ,  류명관 ,  김기범 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

증착온도가 LPCVD 실리콘 박막의 물성과 전기적 특성에 미치는 영향

洪贊熹 ,  朴昌燁

전기학회논문지

1992 .07

고상 결정화법을 위한 새로운 공정조건으로 제작된 다결정 Si 박막의 태양전지 특성 평가

권순용 ,  정지현 ,  Yuguo Tao 외 3명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

Reducing Crystallization Temperature and Time of a LPCVD Amorphous Silicon Thin Film in Al / Amorphous Si Structure

김진혁 ,  이정용

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Si$O_{2}$/a-Si 핵생성 계면제어에 의한 조대한 다결정 실리콘 박막의 제조

정세진 ,  황의훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Enhanced Crystallization of Si at Low Temperature by $O_2$ Flow during Deposition

Nam ,  Hyoung-Gin ,  Koo 외 1명

반도체및디스플레이장비학회지

2007 .01

주입가스 차단을 이용하여 불연속 증착방법에 의해 제조된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화

정세진 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

LPCVD법으로 증착된 다층비정질 실리콘박막의 고상결정화

황의훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01