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스퍼터링법에 의한 이중 Cu막의 특성에 관한 연구
전기학회논문지
1997 .03
박막 저항체 응용을 위해 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착된 Cu-Ni 합금 박막의 조성에 따른 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
2004 .01
Mo-Cu 단일 합금타겟을 이용하여 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 박막의 Cu 함량에 따른 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
스퍼터링 공정 조건이 산화 구리 박막 특성에 미치는 영향
Current Photovoltaic Research
2017 .03
스퍼터링 방식으로 증착된 Cu₂SnS₃ 박막의 열처리 효과
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
전기화학증착법으로 제조한 Cu 박막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Cu 박막의 증착 종료 이후 인장응력 방향으로의 응력이동
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
BaNb₂O6:Eu3+ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2015 .06
텅스텐 스퍼터링시 박막의 응력조절
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
마그네트론 스퍼터링을 이용한 초박막 Ag, Cu 금속 박막의 열처리에 따른 물질 특성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .05
고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성과 박막 특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
스퍼터 증착한 Cu/Cr/Polyimide 시스템에서의 Cu의 증착조건에 따른 접착력 거동
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
스퍼터링법으로 증착된 몰리브네늄 박막 및 텅스텐 박막의 잔류 응력 제어
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
Cu/Ti/Si 다층 박막의 증착조건에 따른 Cu 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
스퍼터링법으로 증착된 W박막의 미세구조
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
Mo-Cu 합금타겟을 이용하여 스퍼터링법으로 제작한 박막의 마찰특성
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
PROPERTIES OF THE CVD-Cu FULMS ON $SiO_2$ AND BPSG SUBSTRATES
Fabrication and Characterization of Advanced Materials
1995 .01
마그네트론 코-스퍼터링에 의한 구리-니켈 합금박막 증착시 타겟의 구성방법에 따른 물성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
스퍼터링법에 의한 Cu막 형성 기술
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
스퍼터링 증착법을 이용한 박막 배터리 제조 및 분석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2013 .10
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