PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .07

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착

허창우

한국정보통신학회논문지

2007 .11

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

PECVD 실리콘질화막에 대한 이온빔 방사효과

이상환 ,  이중환 ,  서경수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

PECVD 방법으로 제조된 비정질 Si 박막의 RTP를 이용한 결정화 연구

심찬호 ,  김하나 ,  김성준 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

PECVD법으로 제조된 B-doped 수소화된 비정질 실리콘카바이드 박막의 물성

김현철 ,  신혁재 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

기상증착과 PECVD를 이용한 불화 유기박막의 증착

차남구 ,  이강국 ,  박진구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)방법에 의한 a-C:H 박막의 열처리에 관한 연구

한준희 ,  진억용

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교

전병혁 ,  김종석 ,  이응직 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Plasma deposited silicon thin films for next generation photovoltaics

Ka-Hyun Kim

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구

김종석 ,  전병혁 ,  이응직 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

PECVD 법으로 증착된 silicon oxynitride 의 물성 분석

조유정 ,  한길진 ,  김영철

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

증착 온도가 PECVD 비정질 Si 박막의 고상 결정화에 미치는 영향

문대규 ,  이정노 ,  안병태 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 특성연구

김문협 ,  송재진 ,  노재승 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

PECVD 방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조 분석

김용천 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

GaAs 기판위에 PECVD로 증착된 Silicon Nitride의 특성분석

서경수 ,  최성우 ,  곽병화 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

ICP-PECVD를 이용한 저온 ARC 박막 증착 공정

조국현 ,  조영준 ,  장효식

한국에너지학회 학술발표회

2013 .05

60㎒ PECVD법에 의한 μc-Si:H 박막의 저온증착 및 태양전지 응용

이정철 ,  정연식 ,  김석기 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07