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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김영진 (경기대학교 전자 및 신소재공학부) 정영호 (경기대학교 전자 및 신소재공학부, 전자부품종합기술연구소, 전자부품종합기술연구소, 서울대학교 재료공학부, 서울대학교 재료공학부, 서울대학교 재료공학부)
저널정보
한국결정학회 한국결정학회지 한국결정학회지 제7권 제2호
발행연도
1996.1
수록면
175 - 182 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1996

다이아몬드 기판상에 증착된 ZnO 압전박막의 탄성표면파 특성
김영진 ,  정영호 한국결정학회지 1996.01 학술저널
다이아몬드 기판상에 증착된 ZnO 압전박막의 탄성표면파 특성
김영진 ,  정영호 ,  박종철 외 4명 한국재료학회 학술발표대회 1996.01 학술대회자료

초록· 키워드

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ZnO 박막의 증착 거동에 대한 기본 실험을 하기 위하여 우선 코닝 7050 유리 기판을 사용하여 증착 변수에 따른 박막의 성장특성을 규명하였다. 산소가스의 영향을 보면, ZnO 박막의 산소를 주입시키지 않은 경우에는 배향성을 갖지 못하고 있으며, 일정양의 산소가 있어야 (002) 배향성을 가진 ZnO 박막이 증착되고 있음을 알 수 있었다. 또한 실험결과에 의하면 rf 전력과 기판온도에 따라서 ZnO 박막의 결정성 및 성장면의 큰 변화가 관찰되고 있는데, 이들 변수의 크기가 증가할수록 SAW소자에 적합한 양질의 배향성 박막을 얻을 수 있었다. 실험에서 얻은 최적조선은 rf 전력 300W, 기판온도 300℃, Ar/O2=50/50 이다. SAW 특성을 분석하기 위하여 diamond/Si 기판위에 Al 박막을 증착시킨 후 자체 제작한 마스크를 이용하여 건식 식각법에 의한 IDT 제작을 시도하였다. 그 다음 위의 최적 조건에서 ZnO 박막을 증착하고 탄성표면파 특성을 분석하였다. 측정에 사용한 디자인은 λ(파장)는 24μm으로서 측정결과 simulation 값과 실험치가 잘 일치하고 있었다. 측정된 중심주파수는 250MHz이고, 이로부터 계산한 ZnO/diamond 구조의 전단 속도는 약 6000m/s의 값을 나타냈으며, 이 값은 실제 이론치와 거의 일치하고 있었다.

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