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자료유형
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저자정보
Park, Young-Chun (KCTech Research Center & School of CS&EE, Handong Global University) Lee, Bong-Ju (KBSI)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2003년도 International Meeting on Information Display
발행연도
2003.1
수록면
421 - 424 (4page)

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An AP plasma technology has been developed for the application of dry cleaner, PR ashing and PI rework in the large glass size. The technology is cost effective, environment friendly, and best fits for coming generation LCD production since the design is easily scalable to bigger size glasses. Surface cleaning results based on the contact angle study has been presented for $5^{th}$ generation LCD bare glass. PR ashing results and various parametric studies have been also presented.

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