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저자정보
Ahn, Kyung-Min (Department of Materials Science and Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology) Lee, Kye-Ung (Department of Materials Science and Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology) Ahn, Byung-Tae (Department of Materials Science and Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
발행연도
2006.1
수록면
715 - 717 (3page)

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$NiCl_2$ vapor was introduced into conventional furnace to conduct vapor-induced crystallization (VIC) process. We made the metal chloride atmosphere by sublimating the $NiCl_2$ compound. The $NiCl_2$ atmosphere enhanced the crystallization of amorphous silicon thin films. As the result, polycrystalline Si film with large grain size and low metal contamination has been obtained.

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