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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
윤여탁 (가천대학교 전자공학과) 조의식 (가천대학교 전자공학과) 권상직 (가천대학교 전자공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제18권 제1호
발행연도
2019.1
수록면
87 - 91 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2019

고전도성 투명전극인 ITO/Ag/ITO 다층박막에 관한 광학적 분석
윤여탁 ,  조의식 ,  권상직 반도체디스플레이기술학회지 2019.01 학술저널

2018

Mesh형 ITO/Ag/ITO 투명전극의 형성 및 전기·광학적 특성에 대한 연구
윤여탁 IT융합공학과 2018.01 학위논문

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As a highly conductive and transparent electrode, ITO/Ag/ITO multilayers are fabricated using an in-line sputtering method. Optimal thickness conditions have been investigated in terms of the optical transmittance and the electrical conductance. Considering the optical properties, in this study, the experimental characteristics are analyzed based on theoretical phenomena, and they are compared with the simulated results. The simulations are based on the finite-difference-time-domain (FDTD) method in solving linear Maxwell equations. Consequently, the results showed that ITO/Ag/ITO multilayer structures with respective thicknesses of 39.2 nm/10.7 nm/39.2 nm are most suitable with an average transmittance of about 87% calculated for wavelengths ranging from 400-800 nm and a sheet resistance of about $7.1{\Omega}/{\square}$.
#Transparent Conductive Oxide #Multilayers #ITO/Ag/ITO #In-line Sputtering #Full-wave Simulation

목차

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참고문헌 (11)

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S. K. Park / 2001 / Deposition of indium–tin-oxide films on polymer substrates for application in plastic-based flat panel displays / Thin Solid Films 397:49~55 google schola N. L. Dehuff / 2005 / Transparent thin-film transistors with zinc indium oxide channel layer / J. Appl. Phys. 97:064505-1~064505-5 google schola T. Uchida / 2008 / Transparent conductive electrode deposited by Cs-incorporated RF magnetron sputtering and evaluation of the damage in OLED organic layer / Thin Solid Films 516:5907~5910 google schola K. H. Choi / 2013 / Ag nanowire-embedded ITO films as a near-infrared transparent and flexible anode for flexible organic solar cells / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 110:147~153 google schola M. Theuring / 2014 / AZO-Ag-AZO transparent electrode for amorphous silicon solar cells / Thin Solid Films 558:294~297 google schola

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