투명전극용 인듐 주석 산화물 타겟 소재의 재자원화 동향

홍성제; 이재용

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자료유형: 학술저널

저자정보: 홍성제 (전자부품연구원) 이재용 (한청알에프)

저널정보: 한국청정기술학회 청정기술 청정기술 제21권 제4호

발행연도: 2015.12

수록면: 209 - 216 (8page)

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인듐주석산화물(ITO)은 TFT-LCD, OLED 등의 투명전극에 널리 사용되는 소재이다. ITO의 주요 원소인 인듐(In)은 높은 비용과 제한된 매장량 등으로 인해 머지 않아 고갈될 것으로 예측되고 있다. 이에 대처하는 방법은 공정 후 잔류 ITO 타겟을 재활용하여 ITO 소재의 원료를 확보하는 것이다. 본 원고에서는 공정 후 잔류 ITO 타겟의 재자원화 기술 및 시장 동향 고찰 및 효율적인 재활용을 위한 방향을 제시하였다. 그 결과, 현재 국내 및 일본에서 대부분 잔류 ITO 타겟에서 In만을 재자원화 하고 있는 것으로 파악되었다. 이외에도 ITO 나노분말 입자를 제조 및 분산한 용액을 이용하여 투명전극을 제작하는 연구개발이 진행되고 있다. 그러나, ITO 타겟을 이용한 투명전극이 다른 대체 기술을 적용한 것보다 우수하기 때문에, 보다 효율적인 ITO 재자원화 및 타겟 제작을 위해 ITO를 동시에 재생하는 기술 확립이 필요한 것으로 보인다.

#인듐 주석 산화물 #투명전극 #잔류 타겟 #재활용 #시장 전망 #Indium-tin-oxide #Transparent conductive electrodes #Redundant target #Recycling #Market forecast

참고문헌 (40)

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[학술지(정기간행물)] - Minami, T. / 1995 / Physics of Very Thin ITO Conducting Films with High Transparency Prepared by DC Magnetron Sputtering / Thin Solid Films 270 (1) : 37 ~ 42

[학술지(정기간행물)] - Bender, M. / 1998 / Dependence of Oxygen Flow on Optical and Electrical Properties of DC-Magnetron Sputtered ITO Films / Thin Solid Films 326 (1) : 72 ~ 77

[학술지(정기간행물)] - Kusayanagi, M. / 2014 / Al-doped ZnO Films Deposited on a Slightly Reduced Buffer Layer by Reactive dc Unbalanced Magnetron Sputtering / Thin Solid Films 555 (31) : 93 ~ 99

[학술지(정기간행물)] - Kim, J. / 2012 / TransparentCrystalline Al-doped ZnO Film-embedded Heterojunction Si Solar Cell / Mat. Lett 75 (15) : 99 ~ 101

[학술지(정기간행물)] - W.M. Kim / 2014 / Transport characteristics of thermally degraded ZnO films doped with Al / Current Applied Physics 14 (5) : 691 ~ 696

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