인라인 마그네트론 스퍼티링에 의한 ITO/Ag/ITO 다층 구조 투명전극의 최적화에 관한 연구

이승용; 윤여탁; 조의식; 권상직

doi:https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.3.162

추천

검색

자료유형: 학술저널

저자정보: 이승용 (가천대학교 신기술부품소재연구센터) 윤여탁 (가천대학교 신기술부품소재연구센터) 조의식 (가천대학교) 권상직 (가천대학교)

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제30권 제3호

발행연도: 2017.3

수록면: 162 - 169 (8page)

DOI: https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.3.162

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2017

인라인 마그네트론 스퍼티링에 의한 ITO/Ag/ITO 다층 구조 투명전극의 최적화에 관한 연구

이승용 , 윤여탁 , 조의식 외 1명 전기전자재료학회논문지 2017.03 학술저널

고전도성 ITO/Ag/ITO 투명전극 제조 및 최적화를 위한 광학시뮬레이션 모델링

이승용 전자공학과 2017.01 학위논문

이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
이 논문의 연구 히스토리 확인하기

초록· 키워드

오류제보하기

인듐 주석 산화물(ITO)은 낮은 면저항과 가시광선 영역에서 높은 투과율로 인해 투명전극의 재료로서 중요한 역할을 해오고 있다. 그러나 대형 디스플레이에서 ITO 투명전극의 면저항은 요구조건을 충족시키지 못한다. 이를 보완하기 위한 투명전극 중 하나는 ITO/Ag/ITO 다층막을 이용하는 것인데, ITO/Ag/ITO 다층막은 ITO 단일막과 같은 두께에서 더 낮은 면저항을 갖는다. ITO/Ag/ITO 다층막 실험에 앞서, ITO 단일막과 Ag 단일막의 두께에 따른 최적 조건이 필요했고 ITO 단일막과 Ag 단일막의 두께를 변화시켜가며 전기적, 광학적 특성을 분석하였다. 그러나 단일막으로서 최적의 조건을 갖는 조건일지라도 다층막에 적용할 경우 다른 현상이 나타났다. 따라서, ITO/Ag/ITO 다층막에 대한 최적의 조건을 구하기 위해 ITO 층과 Ag 층의 두께 값을 다양하게 변화시켜 ITO/Ag/ITO 다층막의 두께 조건을 찾아내었다. 결과적으로, ITO 층의 두께가 586 A 이고 Ag 층의 두께가 10nm일 때 ITO/Ag/ITO 다층막은 87.65 %의 높은 투과율과 5.5 Ω/□의 낮은 면저항으로 가장 최적의 결과를 나타내었다.

#ITO #Ag #ITO/Ag/ITO #TCE (transparent composite electrode)

참고문헌 (6)

참고문헌 신청

Tadatsugu Minami / 2008 / Present status of transparent conducting oxide thin-film development for Indium-Tin-Oxide (ITO) substitutes / Thin Solid Films 516(17):5822~5828

Brian G. Lewis / 2000 / Applications and Processing of Transparent Conducting Oxides / MRS Bulletin 25(08):22~27

John C. C. Fan / 1974 / Transparent heat‐mirror films of TiO 2 /Ag/TiO 2 for solar energy collection and radiation insulation / Applied Physics Letters 25(12):693~695

전훈하 / 2007 / Zinc Oxide와 갈륨이 도핑 된 Zinc Oxide를 이용하여 Radio Frequency Magnetron Sputtering 방법에 의해 상온에서 제작된 박막 트랜지스터의 특성 평가 / 한국진공학회지 16(5):359~365

S.H.Jeong / 2004 / The insert of zinc oxide thin film in indium tin oxide anodefor organic electroluminescence devices / Current Applied Physics 4(6):655~658

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이승용

소속기관 가천대학교 신기술부품소재연구센터

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 7

윤여탁

소속기관 가천대학교 신기술부품소재연구센터

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 7

Eou-Sik Cho

소속기관 가천대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 28 이용수 1,025

권상직

소속기관 가천대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 31 이용수 54

최근 본 자료

전체보기

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

이 논문의 연구 히스토리 (2)

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (6)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

댓글(0)