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전해 이온화를 이용한 구리의 Abrasive-free CMP에서 과산화수소 함량의 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .04
CMP 연마 입자 크기가 산화갈륨 기판의 거칠기에 미치는 영향
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
다수의 연마입자를 고려한 CMP 공정의 Stick-Slip 고찰
Tribology and Lubricants
2018 .12
전해 이온화와 자외선광을 이용한 사파이어 화학기계적 연마의 재료제거 효율 향상에 관한 기초 연구
Tribology and Lubricants
2021 .12
사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
ZrO2 연마 입자를 사용한 텅스텐 CMP 용 슬러리에서 폴리비닐피로리돈의 효과
대한전자공학회 학술대회
2017 .06
입자유동 CMP 가공에서 옥살산이 가공 결과에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
전해이온화 슬러리 CMP 에서 과산수소 함량 변화에 따른 전기화학적 특성 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .05
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
산화망간이 첨가된 혼합 연마제 실리카 슬러리의 산화막 CMP 특성
전기전자학회논문지
2019 .12
구조화된 표면을 가지는 CMP 연마 패드의 표면 특성이 재료제거율에 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
구리 CMP에서 연마 온도가 제거 속도에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
평탄화 시간 예측을 위한 온도 함수를 고려한 구리 CMP 모델링
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
전해 이온화 슬러리를 이용한 CMP에서 전극 소재에 따른 마찰 특성
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .04
CMP 공정에서 슬러리 분산 안정성 향상을 위한 첨가제 적용 및 최적화 연구
한국에너지기후변화학회 학술대회
2024 .11
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