(001) 산화갈륨 기판의 CMP 공정에서 첨가제가 연마 성능에 미치는 영향

윤혜연 ,  이태경 ,  이태경 외 6명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

산화갈륨(Ga₂O₃) CMP 에서 슬러리 pH 에 따른 연마 특성 비교

정호경 ,  박영욱 ,  이태경 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

전해 이온화를 이용한 구리의 Abrasive-free CMP 연구

박성현 ,  이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구

서장원 ,  윤성훈 ,  정은선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

산화갈륨(Ga₂O₃) CMP 에서 표면 Waviness 개선에 관한 연구

정호경 ,  이태경 ,  김도연 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

CMP 를 적용한 패키지 기판의 다층배선 공정개발

장수천 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP

In-Ho Pa ,  k ,  Da-Sol Lee 외 2명

한국기계가공학회지

2018 .12

사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구

이현섭 ,  이다솔

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

CMP 연마 패드의 표면거칠기가 동압 형성 및 재료 제거에 미치는 영향

박영욱 ,  정호경 ,  조한철 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

입자유동 CMP 가공에서 옥살산이 가공 결과에 미치는 영향

김태경 ,  서준영 ,  손준규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

패턴 밀도에 따른 산화막 웨이퍼의 CMP 모델링

김현진 ,  박병준 ,  정선호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측

하인철 ,  김승우 ,  이승민 외 3명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10

CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향

정경우 ,  정선호 ,  이동환 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

화학기계적 연마기술 연구개발 동향 : 입자 거동과 기판소재를 중심으로

이현섭 ,  성인하

Tribology and Lubricants

2019 .10

화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향

이현섭

Tribology and Lubricants

2018 .06

CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구

손준규 ,  박성현 ,  이현섭

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향

이다솔 ,  정해도 ,  이현섭 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .10

CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향

김현진 ,  이기훈 ,  박병준 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

Advances in CMP Technology over the Next Decade

Hong Jin Kim

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10