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- 학술대회자료
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- 발행연도
- 2021.6
- 수록면
- 166 - 166 (1page)
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Recently, the heat generation problem of electronic devices has become an issue due to the development of electronic devices using displays, therefore, research on thermoelectric materials(TE) capable of solving this problem is required. As for TE materials, bulk type and thin film type TE materials are mainly used. The thin film TE materials used as accurate temperature control devices and miniaturized devices, because it can be nano-structured and connected with small devices. Among them, Indium oxide-based TE materials have been attracting attention, because of its high thermal stability, relatively low price and toxicity compared to telluride TE materials. To fabricate high performance TE materials, high seebeck coefficient(S), high electrical conductivity and low thermal conductivity must be obtained. Generally, it was evaluated by power factor(PF) only, since it is difficult to estimate the thermal conductivity of thin films. However, in this study, the thermal conductivity was measured using the TDTR method. Furthermore, the amorph ... 전체 초록 보기
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