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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.1
- 수록면
- 443 - 450 (8page)
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플라스틱 기판 중에서 열적 안정성과 광학적 특성이 우수한 PES 기판을 선택한 후, 흡습성이 높은 단점을 보완하기 위해 플라즈마 화학기상증착 법으로 SiO2 박막을 버퍼층으로 20nm 두께로 증착하였다. 그 후 ITZO 박막을 고주파 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착하여 RF파워에 따른 전기적 및 광학적 특성들을 조사하였다. RF파워 50W에서 증착한 ITZO 박막이 8.02×10-4Ω-cm의 비저항과 50.13Ω/sq.의 면저항으로 가장 우수한 전기적 특성을 나타내었다. ITZO 박막의 가시광 영역(400-800nm)에서의 평균 투과도는 RF파워가 40, 50W인 경우 80% 이상으로 비교적 높은 값을 나타내었다. 재료평가지수들인 ΦTC와 FOM은 RF파워 50W에서 증착한 ITZO 박막에서 각각 23.90×10-4Ω-1와 5883Ω-1cm-1로 가장 큰 값을 나타내었다.
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Ho Jin Jang / 2019 / Progress of display performances: AR, VR, QLED, OLED, and TFT / Journal of Information Display 20(1):1~8
A. Phadke / 2019 / An Overview of Current Display Technologies and Possible Future Technologies / 2019 IEEE International Conference on Electrical, Computer and Communication Technologies (ICECCT) :1~6
Y. Fujisaki / 2016 / Oxide/Organic Semiconductor Electro -nics on Plastic Substrates for Flexible AMOLED Displays / SID Symposium Digest of Technical Papers 47(1):47~41
정문헌 / 2014 / 차세대 투명전극 소재의 종류와 특성 / 공업화학 25(3):242~248
T. Takatoshi / 2016 / Development of a Vertically-stacked Colortunable Polychromatic Organic-light- emittingdiode Device for Roll-to-roll Manufacturing / SID Symposium Digest of Technical Papers 1(2016):42~45
A. Phadke / 2019 / An Overview of Current Display Technologies and Possible Future Technologies / 2019 IEEE International Conference on Electrical, Computer and Communication Technologies (ICECCT) :1~6
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