In-Sn-Zn-O(ITZO) TFT의 Etch Stopper layer에 따른 Threshold Voltage 변화에 대한 연구

전경진; 김광숙; 임준형

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 전경진 (삼성전자공과대학교) 김광숙 (삼성디스플레이) 임준형 (삼성디스플레이)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2016년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2016.5

수록면: 293 - 294 (2page)

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