세리아 슬러리의 분사 두께 분포가 산화막 CMP에 미치는 영향

이다솔 ,  이현섭 ,  정경우 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10

Identification of Particles in the Slurry Using Optical Method

G. X. Ding ,  V. H. Nguyen ,  Y. B. Jin 외 3명

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

Particle detection in the slurry by using optical visualization method

G. X. Ding ,  V. H. Nguyen ,  Y. B. Jin 외 2명

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP

이다솔 ,  정선호 ,  이종우 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .02

Particle Deposition System 을 활용한 세리아 입자 크기별 Buff Cleaning 성능 평가 연구

이승재 ,  류펑잔 ,  김태성

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .04

라그랑지안 기법을 이용한 관내 슬러리의 유동특성 해석

박문수 ,  이정호 ,  윤린

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .11

산화막 CMP에서 혼합 입자 슬러리의 비구형 입자 혼합비가 미치는 영향

이호준 ,  정해도 ,  김문성

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

잠열 미립화 입자 슬러리를 이용한 축열을 기반으로 한 실험적 연구

이효진

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .04

슬러리를 이용한 열용사 코팅막의 물리적 특성 연구

김호영 ,  변영민 ,  서정하 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

슬러리의 파이프 유동특성과 연구개발 현황

권승희

대한토목학회지

2015 .10

슬러리 소비 감소를 위한 CMP 분위기 제어를 이용한 슬러리 미스트 개발

이다솔 ,  정선호 ,  김현진 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

구조화된 패드의 표면 제어를 통한 세리아 CMP 성능 향상

권리경 ,  김도연 ,  정호경 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

Ceria-based Superhydrophobic Heat Transfer Surfaces for Long-lasting Dropwise Condensation

Jun Soo Kim ,  Jaehwan Shim ,  Jungchul Lee 외 1명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2022 .11

관 내 슬러리의 이상유동 해석

이원준 ,  윤린

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .11

Experimental Study for Effect of Change in Concentration and Temperature on Density in Latent Heat Particulate Slurries with Different Melting Points

Hyojin Lee

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2021 .05

CMP 공정에서 슬러리 분사 주입에 따른 슬러리 막 형성에 관한 연구

허성녕 ,  정선호 ,  정호경 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

슬러리 펌프의 신뢰성 향상

정동수

신뢰성응용연구

2016 .12

음향장 제어를 통한 미세먼지 응집 현상 분석

박지훈 ,  김제도

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2020 .11

블레이드 기울임각이 슬러리 펌프 성능에 미치는 영향

제영완 ,  진정민 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

CeO2 나노 분말 합성에 미치는 용매 및 전구체의 영향

옥지영 ,  손정훈 ,  배동식

한국결정성장학회지

2018 .01