패드의 hardness에 따른 Shallow trench isolation chemical mechanical planarization에서 patten wear에 대한 영향

곽동건; 김주환; 김태성

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 곽동건 (성균관대학교) 김주환 (성균관대학교) 김태성 (성균관대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2022년 학술대회

발행연도: 2022.11

수록면: 1,048 - 1,048 (1page)

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