[정밀가공] 화학기계적 평탄화 공정에서의 모델링 및 해석

이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

화학기계적평탄화 공정에서 컨디셔너구조가 패드 형상에 미치는 영향

김형재 ,  조한철 ,  박철진 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

패키지 기판의 평탄화 공정에서 압력편차가 미치는 영향

정선호 ,  이기훈 ,  이동환 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

온도를 고려한 구리 패턴의 평탄화 CMP 모델

신영일 ,  박영욱 ,  정종민 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

패키지 기판에서 고분자 절연층의 평탄화에 관한 연구

정선호 ,  정진엽 ,  이종우 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

패드의 hardness에 따른 Shallow trench isolation chemical mechanical planarization에서 patten wear에 대한 영향

곽동건 ,  김주환 ,  김태성

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

대면적 디바이스 패턴에서 실 접촉 면적과 패드 벌크 변형을 고려한 평탄화 모델링

정선호 ,  김민지 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Small Compact Electric Vehicle for Practical Use and its Repeated Start-Stop Tests

Takeha ,  u Hayashi ,  Yoshihiko Takahashi

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2015 .10

Real-time prediction of dynamic irregularity and acceleration of HSR bridges using modified LSGAN and in-service train

Huile Li ,  Tianyu Wang ,  Huan Yan

Smart Structures and Systems, An International Journal

2023 .05

An Organic Planarization Layer Fabricated via Vapor Phase Deposition

박용천 ,  임성갑

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .04

Planarization Modeling Based on Contact Mode Between Pad Asperity and Oxide Pattern During CMP

김현진 ,  박병준 ,  정선호 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2019 .04

Investigation of Planarization Using Real Contact Area Measurement in CMP Process

김민지 ,  정선호 ,  신영일 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2022 .08

마찰력 측정이 가능한 전기화학-기계적 평탄화(ECMP) 장치

남영현 ,  정승현 ,  이현섭

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .12

전기화학기계적 연마용 슬러리의 전기화학적 특성 분석

이현섭 ,  조예진 ,  김용훈 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

주파수조정용 에너지저장장치 시운전 자동화 시스템의 개발과 실증

임건표 ,  최요한 ,  이승민 외 1명

전기학회논문지 P

2017 .09

STI CMP에서 패턴 밀도에 따른 단차제거에 대한 연구

김주환 ,  곽동건 ,  김태성

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

Abrasive-free Planarization Method of Functional Materials by Catalyst-Referred Etching (CARE)

Kazuto Yamauchi

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

앙상블 모델을 통한 화학적 기계연마 기술 연마율 예측

전병주 ,  하종문 ,  이준민 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

화학적기계적평탄화 공정에서 스윙암 컨디셔너의 구역 체류 시간 제어

이동환 ,  김형재 ,  이다솔 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

장기 제주계통 Must Run 제약 유무에 따른 재생에너지 출력제어 전망

이상지 ,  명준용 ,  이창근 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2022 .07