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CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
DNN을 이용한 CMP 패드 컨디셔닝에서의 패드 마모 프로파일 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
패드 마모 균일성 향상을 위한 CMP 컨디셔닝 시스템 설계 변수 연구
Tribology and Lubricants
2022 .02
CMP 컨디셔닝 시스템 설계변수에 따른 패드 마모 프로파일 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .10
CMP 컨디셔닝에서 패드 마모율 프로파일 예측에 관한 기초 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
인공신경망을 활용한 CMP 컨디셔닝 시스템 설계 변수에 따른 컨디셔닝 밀도의 불균일도 분석
Tribology and Lubricants
2022 .08
컨디셔닝 공정에서 컨디셔너와 연마 패드의 속도비에 따른 CMP 연마 패드 형상 시뮬레이션
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
CMP 컨디셔너의 다이아몬드 입자 모양이 연마 패드 표면 형상 제어에 미치는 영향
Tribology and Lubricants
2019 .12
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
화학기계적 연마에서 컨디셔너 직경에 따른 연마패드 마모 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
이중 분할 컨디셔너를 이용한 CMP 연마패드 수명 향상에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .04
CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
Investigation of Heat Conditioning Method for CMP Pad
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .04
제어된 마이크로 패턴 표면 구조를 가지는 CMP 용 연마패드의 장시간 연마 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
CMP 에서 연마 패드의 접촉 조건에 따른 수학적 모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
CMP 패드의 그루브 두께 프로파일 측정 방법에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
Backgrinding 공정을 위한 패드 컨디셔닝 특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .06
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