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이동환 (부산대학교) 정선호 (부산대학교) 이다솔 (부산대학교) 김형재 (한국생산기술연구원) 조한철 (한국생산기술연구원) 정해도 (부산대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2019년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2019.5
수록면
27 - 27 (1page)

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2020

컨디셔닝 시뮬레이션을 이용한 CMP 패드 표면 형상 제어에 관한 연구
이동환 기계공학부 2020.01 학위논문

2019

CMP 컨디셔너의 다이아몬드 입자 모양이 연마 패드 표면 형상 제어에 미치는 영향
이동환 ,  이기훈 ,  정선호 외 3명 Tribology and Lubricants 2019.12 학술저널
컨디셔닝 공정에서 컨디셔닝 디스크의 내경 변화에 따른 CMP 패드 마모에 대한 시뮬레이션
이동환 ,  정선호 ,  이다솔 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.05 학술대회자료

2018

컨디셔닝 공정에서 컨디셔너와 연마 패드의 속도비에 따른 CMP 연마 패드 형상 시뮬레이션
이동환 ,  김형재 ,  이다솔 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.10 학술대회자료

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#Chemical Mechanical Planarization #Pad conditioning #Pad wear profile #Conditioning disk #Conditioning simulation

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