지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.9
- 수록면
- 386 - 391 (6page)
- DOI
- https://doi.org/10.4313/JKEM.2018.31.6.386
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
An epitaxial GaN layer was grown on a cone-shape-patterned sapphire substrate (PSS) (Sample A) and anAlN-buffered PSS (Sample B) with two growth steps under the same process conditions by employing the hydride vaporphase epitaxy (HVPE) method. We have investigated the characteristics of the GaN layer grown on two kinds ofsubstrates at each growth step. The cross-sectional SEM image of the GaN layer grown on the two types of substratesshowed growth states of GaN layers formed during the 1st and 2nd growth steps with different growth durations.
Dislocation density was obtained by calculation using the FWHM value of the rocking curve for (002) and (102). SampleA showed 2.62+08E and 6.66+08E and sample B exhibited 5.74+07E and 1.65+08E for two different planes. The redshift was observed is photoluminescence (PL) analysis and Raman spectroscopy results. GaN layers grown onAlN-buffered PSS exhibited better optical and crystallographic properties than GaN layers grown on PSS.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (18)
참고문헌 신청
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
AlN/PSS Template 위에 HVPE로 성장한 GaN 막의 특성
전기전자재료학회논문지
2016 .01
-
Surface Analysis of Plasma Pretreated Sapphire Substrate for Aluminum Nitride Buffer Layer
한국재료학회지
2017 .01
-
Development of a collaborative framework for improving design of product service systems
한국CDE학회 학술발표회 논문집
2016 .01
-
Self-Separation 방법을 적용한 고품질 Free-Standing GaN
전기전자재료학회논문지
2016 .01
-
PSS/E 계통해석 검토자동화 프로그램 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
-
Impact of molecular weight of PSS on PEDOT:PSS Synthesis and Characterization
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2015 .10
-
패턴화된 사파이어 기판 위에 증착된 AlN 버퍼층 박막의 에피층 구조의 광학적 특성에 대한 영향
한국결정성장학회지
2020 .01
-
PSS/E를 활용한 신재생 에너지 엔지니어링에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
-
PSS/E와 RTDS간의 파형 분석을 통한 PSS/E 다이나믹 데이터 정합성 검증 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .07
-
PSS/E 기반 전력계통 안정성 평가 자동화 프로그램 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .11
-
PSS/E 기반 전력계통 안정성 평가 자동화 프로그램 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .11
-
Considerable influence of molecular weight of PSS on PEDOT:PSS Synthesis and Characterization
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2016 .10
-
5G NR 셀 탐색과 동기화를 위한 교차상관관계 기반 PSS 검출기 구조
한국정보통신학회논문지
2022 .03
-
HVPE 법에서의 공정변수 조절에 의한 bulk GaN 단결정의 두께 최적화
한국결정성장학회지
2017 .01
-
Generating New Product-Service System Concepts Using General Needs and Business System Evolution Patterns : A Furniture PSS Case
Industrial Engineering & Management Systems
2016 .06
-
원뿔 형태의 patterned sapphire substrate 위에 성장한 α-Ga2O3의 특성분석
한국결정성장학회지
2019 .01
-
HVPE를 이용하여 r-plane 사파이어 위에 multi-step으로 성장시킨 a-plane GaN 에피층의 특성 연구
한국결정성장학회지
2016 .01
-
HVPE법을 활용한 GaN 성장시 질화처리에 관한 연구
한국결정성장학회지
2019 .01
-
한국어판 학생 프리젠티즘 척도(K-PSS)의 신뢰도와 타당도: 대학 재학생을 대상으로
한국산학기술학회 논문지
2023 .05
-
PSS 파라미터 선정을 통한 발전기의 안정 운영에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .04
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0