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HVPE법을 이용하여 PSS와 AlN Buffered PSS 위에 성장시킨 GaN 박막의 결정 특성
전기전자재료학회논문지
2018 .09
Surface Analysis of Plasma Pretreated Sapphire Substrate for Aluminum Nitride Buffer Layer
한국재료학회지
2017 .01
Atomic Layer Deposition of AlN Thin Films on GaN and Electrical Properties in AlN/GaN Heterojunction Diodes
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2020 .01
패턴화된 사파이어 기판 위에 증착된 AlN 버퍼층 박막의 에피층 구조의 광학적 특성에 대한 영향
한국결정성장학회지
2020 .01
나노구조를 응용한 AlN 성장 방법 및 특성
전기전자재료학회논문지
2015 .01
Self-Separation 방법을 적용한 고품질 Free-Standing GaN
전기전자재료학회논문지
2016 .01
Hydride vapor phase epitaxy에 의한 후막 AlN 단결정의 성장 거동에 관한 연구
한국결정성장학회지
2024 .08
혼합소스 HVPE 방법에 의한 전력 반도체 소자용 p형 AlN 에피층 성장
한국결정성장학회지
2019 .01
원자층 증착법을 이용한 AlN 박막을 통한 AlGaN/GaN 이종접합의 전류 개선 연구
전자공학회논문지
2021 .05
고효율 파워 반도체 소자를 위한 Mg-doped AlN 에피층의 HVPE 성장
한국결정성장학회지
2017 .01
SiC 기판상에 성장된 AlN 박막을 이용한 AlN 결정 성장에 관한 연구
한국결정성장학회지
2018 .01
Interfacial Properties of Atomic Layer Deposited Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/AlN Bilayer on GaN
한국재료학회지
2018 .01
HVPE 법에서의 공정변수 조절에 의한 bulk GaN 단결정의 두께 최적화
한국결정성장학회지
2017 .01
HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy) 법을 적용한 온도 변화에 따른 AlN 단결정의 성장 형상에 관한 연구
한국결정성장학회지
2024 .02
GAN의 성능 향상을 위한 온라인 GAN 지식 증류 기법
한국정보과학회 학술발표논문집
2022 .06
HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy) 법을 적용한 N₂ 양의 변화에 따른 AlN 단결정의성장 거동에 관한 연구
한국결정성장학회지
2024 .04
6H-SiC 종자 결정을 사용하여 PVT법으로 성장된 AlN 결정 연구
한국결정성장학회지
2016 .01
펄스레이저법으로 증착 제조된 AlN박막의 타겟 효과
소성·가공
2020 .02
HVPE 법을 통한 GaN 성장 시 기판 종류 및 V/III 비에 따른 잔류 stress 특성 연구
한국결정성장학회지
2020 .01
6H-SiC 기판 위에 혼합소스 HVPE 방법으로 성장된 AlN 에피층 특성
한국결정성장학회지
2020 .01
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