HVPE법을 이용하여 PSS와 AlN Buffered PSS 위에 성장시킨 GaN 박막의 결정 특성

이원준 ,  박미선 ,  이원재 외 3명

전기전자재료학회논문지

2018 .09

Surface Analysis of Plasma Pretreated Sapphire Substrate for Aluminum Nitride Buffer Layer

Jeong ,  Woo Seop ,  Kim 외 9명

한국재료학회지

2017 .01

Atomic Layer Deposition of AlN Thin Films on GaN and Electrical Properties in AlN/GaN Heterojunction Diodes

김호경

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2020 .01

패턴화된 사파이어 기판 위에 증착된 AlN 버퍼층 박막의 에피층 구조의 광학적 특성에 대한 영향

박경욱 ,  윤영훈

한국결정성장학회지

2020 .01

나노구조를 응용한 AlN 성장 방법 및 특성

손호기 ,  전대우 ,  김진원 외 7명

전기전자재료학회논문지

2015 .01

Self-Separation 방법을 적용한 고품질 Free-Standing GaN

손호기 ,  이영진 ,  김진호 외 3명

전기전자재료학회논문지

2016 .01

Hydride vapor phase epitaxy에 의한 후막 AlN 단결정의 성장 거동에 관한 연구

강승민

한국결정성장학회지

2024 .08

혼합소스 HVPE 방법에 의한 전력 반도체 소자용 p형 AlN 에피층 성장

이강석 ,  김경화 ,  김상우 외 6명

한국결정성장학회지

2019 .01

원자층 증착법을 이용한 AlN 박막을 통한 AlGaN/GaN 이종접합의 전류 개선 연구

장원호 ,  김태현 ,  임준혁 외 1명

전자공학회논문지

2021 .05

고효율 파워 반도체 소자를 위한 Mg-doped AlN 에피층의 HVPE 성장

배숭근 ,  전인준 ,  양민 외 5명

한국결정성장학회지

2017 .01

SiC 기판상에 성장된 AlN 박막을 이용한 AlN 결정 성장에 관한 연구

인경필 ,  강승민

한국결정성장학회지

2018 .01

Interfacial Properties of Atomic Layer Deposited Al₂O₃/AlN Bilayer on GaN

Kim ,  Hogyoung ,  Kim 외 3명

한국재료학회지

2018 .01

HVPE 법에서의 공정변수 조절에 의한 bulk GaN 단결정의 두께 최적화

박재화 ,  이희애 ,  이주형 외 7명

한국결정성장학회지

2017 .01

HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy) 법을 적용한 온도 변화에 따른 AlN 단결정의 성장 형상에 관한 연구

강승민 ,  인경필

한국결정성장학회지

2024 .02

GAN의 성능 향상을 위한 온라인 GAN 지식 증류 기법

양수빈 ,  배성호

한국정보과학회 학술발표논문집

2022 .06

HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy) 법을 적용한 N₂ 양의 변화에 따른 AlN 단결정의성장 거동에 관한 연구

인경필 ,  강승민

한국결정성장학회지

2024 .04

6H-SiC 종자 결정을 사용하여 PVT법으로 성장된 AlN 결정 연구

신희원 ,  이동훈 ,  김황주 외 7명

한국결정성장학회지

2016 .01

펄스레이저법으로 증착 제조된 AlN박막의 타겟 효과

정준기 ,  하태권

소성·가공

2020 .02

HVPE 법을 통한 GaN 성장 시 기판 종류 및 V/III 비에 따른 잔류 stress 특성 연구

이주형 ,  이승훈 ,  이희애 외 5명

한국결정성장학회지

2020 .01

6H-SiC 기판 위에 혼합소스 HVPE 방법으로 성장된 AlN 에피층 특성

박정현 ,  김경화 ,  전인준 외 5명

한국결정성장학회지

2020 .01