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자료유형
학술저널
저자정보
Tytko Darius (Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH) Choi Pyuck-Pa (Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH) Raabe Dierk (Max-Planck Str)
저널정보
나노기술연구협의회 Nano Convergence Nano Convergence Vol.4 No.15
발행연도
2017.6
수록면
1 - 5 (5page)
DOI
10.1186/s40580-017-0109-y

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We report on the oxidation behavior of AlN/CrN multilayers at 900 °C, deposited by radio frequency magnetron sputtering. It is shown that oxidation in this system is controlled by diffusion of Cr towards the surface and formation of Cr2O3. Cr diffusion is found to mainly occur along grain boundaries. Thus, coherent cubic AlN/CrN multilayer regions with coarse columnar grain structures are found to be oxidation resistant, whereas regions decomposed into hexagonal AlN/cubic CrN are prone to oxidation.
#Oxidation Hard coatings Multi layers Transmission electron microscopy Atom probe tomography

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P. A. Dearnley / 1982 / Met. Technol 9:60 google schola S. R. Pulugurtha / 2007 / Surf. Coat. Tech 202:1160 google schola K. Bobzin / 2007 / Wear 263:1274 google schola J. Lin / 2006 / Surf. Coat. Tech 201:4329 google schola A. E. Reiter / 2007 / J. Vac. Sci. Tech. A 25:711 google schola

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