지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제21권 제6호
- 발행연도
- 2020.1
- 수록면
- 621 - 629 (9page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
AlN thin films were deposited with different thicknesses (5 and 20 nm) by atomic layer deposition and we explored the electron transport mechanisms in AlN/GaN Schottky junctions. Higher ideality factor and higher m values were observed in the current?voltage plots when the thickness of the AlN was 5 nm. The reverse bias leakage current for 5-nm-thick AlN was explained based on the Poole?Frenkel emission. Capacitance?voltage analysis revealed a higher interface state density for 5 nm thick AlN. These results might be associated with the defective interfacial layer present near the AlN/GaN interface. Because of the strain relaxation, the upper region of the AlN layer was degraded in the case of 20-nm-thick AlN, which may have strongly aff ected the interfacial properties of the Pt/AlN junction strongly.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (39)
참고문헌 신청
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
나노구조를 응용한 AlN 성장 방법 및 특성
전기전자재료학회논문지
2015 .01
-
펄스레이저법으로 증착 제조된 AlN박막의 타겟 효과
소성·가공
2020 .02
-
Effect of Atomic Layer Deposited AlN Layer on Pt/4H-SiC Schottky Diodes
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2018 .08
-
SiC 기판상에 성장된 AlN 박막을 이용한 AlN 결정 성장에 관한 연구
한국결정성장학회지
2018 .01
-
원자층 증착법을 이용한 AlN 박막의 성장 및 응용 동향
한국재료학회지
2019 .01
-
고효율 파워 반도체 소자를 위한 Mg-doped AlN 에피층의 HVPE 성장
한국결정성장학회지
2017 .01
-
6H-SiC 종자 결정을 사용하여 PVT법으로 성장된 AlN 결정 연구
한국결정성장학회지
2016 .01
-
Y2O3가 1 wt% 첨가된 AlN 세라믹의 전기절연성에 미치는 TiO2 첨가의 효과
전기전자재료학회논문지
2016 .01
-
Dependence of Sputtering Gas Pressure on the Crystal Structure of AlN Films
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
-
가스용탕반응법에 의한 Al-ALN 복합재 제조시 교반기 내의 유동장 해석
한국생산제조학회지
2020 .02
-
Properties of AlN Thin Films on p-Ge Deposited by Thermal Atomic Layer Deposition
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2018 .12
-
Interfacial Properties of Atomic Layer Deposited Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/AlN Bilayer on GaN
한국재료학회지
2018 .01
-
패턴화된 사파이어 기판 위에 증착된 AlN 버퍼층 박막의 에피층 구조의 광학적 특성에 대한 영향
한국결정성장학회지
2020 .01
-
원자층 증착법을 이용한 AlN 박막을 통한 AlGaN/GaN 이종접합의 전류 개선 연구
전자공학회논문지
2021 .05
-
Y(NO₃)₃·6H₂O 첨가된 AlN 소결체의 기계적 및 열전도도 특성
소성·가공
2018 .02
-
AlN/PSS Template 위에 HVPE로 성장한 GaN 막의 특성
전기전자재료학회논문지
2016 .01
-
AlN 분말의 고에너지 밀링에 따른 소결체의 절연 특성
한국분말야금학회지
2017 .01
-
Improved Performances of AlN/Polyimide Hybrid Film and its Application in Redistribution Layer
Electronic Materials Letters
2016 .01
-
유한요소해석을 이용한 방열용 Al-AlN 복합재의 제2상 분율에 따른 열-기계적 특성예측
한국기계가공학회지
2018 .10
-
투과전자현미경과 전자후방산란회절을 이용한 AlN의 미세구조 분석
한국결정성장학회지
2015 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0