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정종민 (부산대학교) 신영일 (부산대학교) 정승훈 (부산대학교) 정선호 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2023년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2023.11
수록면
29 - 29 (1page)

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2023

결정 트리 머신러닝을 이용한 데이터 기반의 CMP 재료 제거율 모델링
정종민 ,  신영일 ,  정승훈 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2023.11 학술대회자료
연마 압력 및 패드 표면 거칠기를 이용한 XGBoost 기반의 CMP 재료 제거율 예측
정종민 ,  정승훈 ,  신영일 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2023.05 학술대회자료

2022

딥러닝을 이용한 패드 표면 거칠기 기반 CMP 재료 제거율 예측 모델링
정종민 ,  신영일 ,  박영욱 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2022.10 학술대회자료

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#Chemical mechanical planarization #Material removal rate #Surface topography #Data-driven modeling #Machine learning

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Post-CMP cleaning에서 브러쉬 마모 예측을 위한 진동 신호 분석
김도연 ,  이태경 ,  김형재 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2021 .12

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