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저자정보
류현준 (한국과학기술원) 윤승희 (한국과학기술원) 정지훈 (MIT) 김산하 (한국과학기술원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 생산 및 설계공학부문 2024년도 춘계학술대회 초록집
발행연도
2024.6
수록면
78 - 78 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2024

패드 표면의 마이크로패턴 형상에 따른 화학적기계연마 재료제거율
류현준 ,  윤승희 ,  정지훈 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2024.06 학술대회자료
리소그래피 기술을 활용한 고정밀, 중종횡비 마이크로 원기둥, 반구 형상 어레이 제작 및 화학적기계연마 공정에 대한 응용
류현준 ,  윤승희 ,  정지훈 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2024.05 학술대회자료
고정밀 화학적기계적연마 공정을 위한 마이크로패턴 패드 제작 및 최적 형상 디자인 제안
류현준 ,  윤승희 ,  김산하 한국트라이볼로지학회 학술대회 2024.04 학술대회자료

2021

연마율 개선을 위한 화학적기계연마 패드 표면돌기의 기계적 특성 제어
류현준 ,  김동근 ,  강석경 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2021.11 학술대회자료

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류현준 ,  윤승희 ,  정지훈 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2024 .05

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